近来，坐落杭州城西科创大走廊的浙江大学效果转化基地传出喜讯：作为基地第一批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入使用测验，其精度比肩世界干流设备，标志着量子芯片研制从此有了“我国刻刀”。

  在测验现场，浙大余杭量子研究院相关团队严重繁忙着，一台容貌酷似大型钢柜的机器正在做使用测验，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是一般的机器，而是一支能在头发丝上雕琢出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队担任人和记者说，依托省要点实验室，这台研究院自主研制的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。

  “羲之”取名自书法家王羲之，“只不过咱们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研制团队相关担任的人介绍，这台设备专攻量子芯片、新式半导体研制的中心环节，它经过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度到达0.6nm，线nm，可灵敏修正规划无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，很合适芯片研制初期的重复调试。

  此前，此类设备受世界出口操控，我国科学技能大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长时间无法收购，“羲之”的落地有望打破这一困局。记者经过查询了解到，其定价低于世界均价，现在已与多家企业及科研机构打开接洽。

  “羲之”的成功并非孤例，其背面是科学技能立异与工业立异“两新交融”的强力驱动。本年7月，省级教育科学技能人才一体变革专项试点项目落地坐落余杭区的浙江大学校友企业总部经济园，浙江大学与该园联手搭建了效果转化高速路：园区企业开出“技能需求清单”；浙大教授带研究生组队“揭榜”；从实验室样品到量产产品，全流程陪跑。

  在城西科创大走廊，这样的交融正成为常态。院士工作站落地城投未来之星办公楼，无缝对接企业需求；城西科创大走廊比年推出优异概念验证项目搜集，打通效果转化的“最前一公里”。接下去，城西科创大走廊将继续推进“两新交融”，为硬科技打破加快赋能，推进科技效果高效转化为实际生产力。

  编者按：电子束光刻机并不是一个新技能，它是经过聚集电子束在晶圆外表直接“雕琢”电路图画，因而能完成远超传统光学光刻的精度，可以到达亚纳米级的分辨率。可是，该技能也存在功率瓶颈（扫描速度慢、多束搅扰）使其在先进制程的大规模制作中无法使用。因而，电子束光刻机现在主要被用于科研范畴以及传统光刻制作流程中所需的光掩模的制作，这一范畴也有不少厂商。比方，日本的Nuflare、JEOL，奥地利的IMS，美国的Zyvex Labs等。

  打个形象的比方，电子束光刻机是顶级科研与特定工业环节的“刻刀”，却非量产芯片的“印刷机”。未来如果在多束操控或混合光刻架构上获得打破，或可有限扩展使用场景，但全面代替EUV仍不实际。