我国半导体职业这几年日子不好过，美国从2019年起就开端加强出口操控，尤其是针对芯片制作的中心设备，这让国内企业无法简单拿到先进的光刻机。光刻机是芯片出产的要害东西，没它就无法刻出那些细小的电路图画。ASML作为全球老迈，根本垄断了EUV光刻机商场，这种机器用13.5纳米波长的极紫外光，能出产7纳米以下的先进芯片。惋惜，ASML的CEO彼得·温尼克三年前还公开说，即便给我国人全套图纸，也造不出来EUV光刻机。这话听起来尖锐，但也激起了国内科研人员的干劲，我们下定决心要靠自己搞定。

  哈尔滨工业大学成了这场自主研制的主力军。从2022年开端，哈工大团队就专心EUV光源技能，他们选了放电等离子体道路，这不同于世界干流的激光等离子体计划。激光道路被德国通快公司卡得死死的，专利墙高得吓人，我国要想追逐，得花很多时刻和钱。放电计划尽管起步难，但能避开那些壁垒，算是一种换道战略。2022年秋天，哈工大团队点亮了第一个DPP光源样机，功率刚够验证原理，但这现已是迈出要害一步。波长操控在13.5纳米，这正好是EUV光刻需求的规范。

  转眼到2023年，团队推动到原型机阶段。他们优化了电极资料和真空体系，设备输出功率逐渐提高。原型机能安稳运转几个小时，这在测验中证明了技能的牢靠性。2024年上半年，要害测验经过了，团队还拿到了国家级奖项，必定了他们的奉献。到2025年1月，哈工大官宣成功研制出13.5纳米极紫外光源，功率到达120瓦实用化水平。这项效果直接学习了核聚变研讨中的等离子体操控办法，顺带处理了EUV光源的安稳输出问题。比较ASML的250瓦商用规范，还有距离，但发展现已超出很多人的预期。

  德国蔡司公司是ASML的重要供货商，担任光学镜头部分，他们的工程师在暗里评论中供认，我国团队处理电极腐蚀的速度比预估快了至少五年。电极腐蚀是放电计划里的老迈难，简单构成设备寿命短，输出不稳。哈工大经过新资料和工艺改善，把腐蚀率降下来，这让国外专家有点意外。蔡司那儿原本认为我国人至少得再熬几年才干摸到门路，效果实践快了不少。这事儿阐明，国内研制不是在原地踏步，而是实打实往前推。

  除了哈工大，其他组织也在发力。清华大学薛其坤团队从2021年起探究稳态微聚束光源，这种同步辐射方法理论上功率更高，能彻底避开传统EUV道路年发布了相关论文，优化了辐射谱线，功率输出有显着前进。

  到2025年，他们进一步开宣告适用于极紫外波长的光刻胶资料，灵敏度提高了不少。北京航空航天大学则专心三值逻辑芯片，2025年5月发布效果，能耗只要传统二进制芯片的40%，合适航天和触控范畴。电路规划从二元转向三元，这在能耗操控上是个聪明挑选，防止了和西方在同一条赛道上硬碰硬。

  整个我国半导体自主研制像一场多线年起加大投入，高校、企业、科研院所联手，资金和技能都往芯片难题上砸。光刻机产业链上游有上海微电子的DUV设备，现已完成90纳米量产，下流有中芯世界等着国产EUV来打破瓶颈。2025年3月，有报导说我国国产EUV光刻机将进入试出产，采取了激光诱导放电等离子体技能，光源功率高达4.5%，比ASML的激光计划高出一倍多。这台机器叫Hyperion-1，规划更简练，零件少，保护简单。估量第三季度试产，假如顺畅，2026年就能量产。

  大基金三期在2025年要点支撑光刻机和EDA东西打破，这笔钱直接投向要害技能，帮企业渡过难关。上海光机所研制的全固态深紫外光源，体积小了50%，能耗降了30%，这对光刻机全体集成有协助。林楠团队估量，转化功率能挨近6%，未来研讨还会持续。世界上，美国智库评价我国光刻技能还滞后，但供认发展在加快。彭博社报导指出，光刻是中美贸易战的中心妨碍，我国假如打破，就能争夺更大优势。

  说实话，这事儿不是一蹴即至。ASML的EUV机器重180吨，零件超10万个，装置得用40个集装箱，价格1.88亿欧元一台。我国起步晚，设备国产化率从2021年的21%升到2025年的50%，但高端部分还依靠进口。尼康和佳能的比例在缩水，ASML一家独大，2024年单台均价还涨了。国内企业像新凯来，正在造28纳米DUV光刻机，2025年展会上演示运转，雷射光在玻璃罩内刻图画，精度合格。

  光刻机商场规模2025年估量超315亿美元，全球半导体需求爆棚，AI和高性能核算拉动晶圆厂扩产。英特尔用高NA EUV出产3万片晶圆，设备牢靠，但我国途径不同，着重自主可控。哈工大的DPP计划能量转化功率高，造价低，体积小，合适本乡出产。国外专利护城河深，但我国经过立异绕道，LPP计划虽干流，可DPP在某些指标上更有潜力。

  未来几年，我国半导体将从14纳米向7纳米推动。哈工大团队持续迭代，产线扩展，结合清华大学和北航效果，构成组合拳。估量2026年，自立方针开端完成，芯片战不再被迫。中芯世界看好国产EUV，一旦上马，出产所带来的本钱降，良率升，全球格式变。美企情绪回转，有些开端谈协作，荷兰和我国达到半导体一致，防止极点封闭。

  曾经高端芯片全赖进口，现在国产越来越靠谱。科研人员埋头苦干，没那么多花里胡哨，便是一步步处理问题。德国专家那话，不是恭维，而是实情，我国速度的确快了。整个职业像长征火箭，从失利到空间站建成，坚持到底就能赢。光刻机不是神话，是技能堆集的效果，我国在这条路上越走越稳。

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